培养具有坚实的数理基础，系统掌握半导体物理、器件与工艺基础理论和实践技能；掌握先进半导体器件、集成系统和大规模集成电路设计方法和制造工艺；具有国际视野，了解微纳电子领域前沿；熟悉电子技术和计算机技术；具有在微纳电子学领域从事研究、设计与开发能力的高级专门人才。该专业围绕半导体物理、半导体器件与集成电路、电子电路与系统等方面的基础理论知识及应用为主要教学内容，结合科学实验和工程实践训练，培养具有良好科学素养，深厚理论基础，熟练实验技能的卓越人才。在集成电路设计和制造、光伏材料与器件、先进MEMS器件、传感器与应用、光电子器件等领域着重培养学生的科学研究、技术开发和工程管理的能力。